[实用新型]氧化铟锡溅射设备的成膜装置和氧化铟锡溅射设备有效
| 申请号： | 201922462669.3 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211227318U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 张洁;朱成顺;蒋雷 | 申请（专利权）人： | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨佩;刘芳 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种氧化铟锡溅射设备的成膜装置和氧化铟锡溅射设备，氧化铟锡溅射设备的成膜装置包括氧化铟锡靶材以及安装在氧化铟锡靶材底部的驱动单元上的防着板，还包括围设在氧化铟锡靶材回镀区外围的遮蔽结构，且遮蔽结构与氧化铟锡靶材的外表面之间具有间隙，遮蔽结构与防着板连接，遮蔽结构用于对氧化铟锡靶材的回镀区进行遮挡，以防止镀膜时产生的杂质沉积在氧化铟锡靶材的回镀区，从而提高了防着板的使用寿命，降低了清洗成本，提高了设备的稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 溅射 设备 装置 | ||
【主权项】：
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