[实用新型]一种半导体设备用的恒温循环装置有效
| 申请号： | 201922468557.9 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211503311U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 潘鸿当;赵一航;周明辉 | 申请（专利权）人： | 河北艾法茨科技有限公司 |
| 主分类号： | F25B21/02 | 分类号： | F25B21/02;F25B43/00;F25B49/00;F25B41/00 |
| 代理公司： | 北京中企鸿阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11487 | 代理人： | 汪斌 |
| 地址： | 050000 河北省石家庄市高新区*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种半导体设备用的恒温循环装置，包括外箱体、水箱、泵和换热器，水箱内部装有循环液，水箱的顶部设置有进水口，所述进水口上安装有过滤器，水箱的底部设置有出水口，所述出水口处设置有出水阀，所述泵的底部设置有出水口和进水口，所述换热器上设置有循环液进水口、循环液出水口、冷水进水口和冷水出水口；所述出水阀连接泵的进水口，泵的出水口连接连接换热器的循环液进水口，换热器的循环液出水口连接所述过滤器；所述冷水进水口连接设备水供水管，所述冷水出水口连接设备水回水管。本实用新型装置通过循环液为半导体设备降温，循环液的温度和水阻值比较稳定且满足需求，降温效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 备用 恒温 循环 装置 | ||
【主权项】：
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