[实用新型]一种半导体设备点火控制系统

摘要

本实用新型公开了一种半导体设备点火控制系统，包括点火装置、燃气支路和助燃物支路，所述燃气支路和助燃物支路均与点火装置连接，所述燃气支路包括过滤器、手阀一、电磁阀一和质量流量控制器一，所述过滤器依次连接手阀一、电磁阀一和质量流量控制器一，所述助燃物支路包括手阀二、电磁阀三和质量流量控制器二，所述手阀二依次连接电磁阀三和质量流量控制器二。质量流量控制器对燃气和助燃物的质量流量进行精密测量和控制，能让燃气和助燃物按照比例进入烧嘴，燃气能够充分燃烧，减少不必要的消耗；压力传感器实时监测管路压力状态，防止支路压力过大，造成泄漏；电磁阀一和电磁阀二串联的使用对燃气回路进行双重隔离保护。