[实用新型]一种磁控溅射设备的绝缘轴承座装置有效
| 申请号： | 201922477452.X | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211170868U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 汪永熙 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 李少欢 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射设备的绝缘轴承座装置，包括轴承安装座、连接件和基座，轴承安装座设置有安装连接孔，连接件插入安装连接孔与基座连接，轴承安装座和基座之间设置有绝缘连接座，轴承安装座安装于绝缘连接座内，绝缘连接座内设置有螺栓绝缘套，螺栓绝缘套套设于安装连接孔内侧，螺栓绝缘套的中部开设有绝缘通孔，连接件插入绝缘通孔并穿过绝缘连接座与基座连接。本实用新型的绝缘轴承装置，使镀膜基体处于绝缘状态，杜绝电子转移，防止尖端放电情况发生，提高产品合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 设备 绝缘 轴承 装置 | ||
【主权项】：
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