[实用新型]一种用于硅片测试的新型模具有效
| 申请号： | 201922480293.9 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN212159856U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 马飞;袁长宏;娄中士;李仕权;常瑞新;李鹏飞;李睿;田宇翔 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于硅片测试的新型模具，其包括一辅助取点装置，所述取点辅助装置上端面呈圆形，且取点辅助装置的中心设置有中心点测试孔，所述取点辅助装置上还间隔设置有两测试槽以及两排边缘点测试孔，两测试槽对称设置于中心点测试孔两侧，两排边缘点测试孔对称设置于中心点测试孔的另两侧，各测试孔的圆心在同一直线上，且该直线与两测试槽的中心线的延长线垂直；每一测试槽和边缘点测试孔的一侧均设置有刻度线，测试时，将所述取点辅助装置置于硅片样片上方，并使得硅片样片的中心与模具的中心对准，将测试探针插入各测试孔以及测试槽内，从而测试硅片样片对应点的相关数据；如此，操作更规范、简单方便，还能保证测试数据的精准性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 测试 新型 模具 | ||
【主权项】：
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