[实用新型]硅基边缘耦合器、硅光子器件及硅光子平台中的光电模块

摘要

本实用新型涉及硅基边缘耦合器、硅光子器件及硅光子平台中的光电模块。该硅基边缘耦合器用于将光纤与波导耦合，包括：波导，具有部分悬挂的悬臂构件，悬臂构件的锚定端耦合到硅光子管芯，自由端终止于边缘区域附近；机械止动件，形成在边缘区域，在悬臂构件的自由端之前具有间隙距离；以及V型槽，形成在硅衬底的第二部分中，以与自由端水平对齐，V型槽的特征在于平坦的或V形的底平面通过在Si晶体学角度方向上以宽度w的顶部开口结束的两个倾斜侧壁对称地连接；V型槽被配置为支撑光纤，通过基于光纤的半径选择顶部开口的宽度w，光纤的芯中心位于顶部开口上方的高度h处，以与悬臂构件的自由端垂直对齐。该技术改善了通信带宽。