[实用新型]一种适用于激光干涉仪的对焦固定调整装置有效
申请号: | 201922495613.8 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN211425335U | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 沈虹;单佩 | 申请(专利权)人: | 上海菲利华石创科技有限公司 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02 |
代理公司: | 上海梵恒知识产权代理事务所(普通合伙) 31357 | 代理人: | 王裕 |
地址: | 201801 上海市嘉定区马陆镇*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型涉及光学检测装置技术领域,具体涉及一种适用于激光干涉仪的对焦固定调整装置,其包括干涉仪检测台,干涉仪检测台上设有激光光源、镜架,镜架上设有主镜和分光镜,干涉仪检测台上还设有一角度调节平台和一激光校正挡板,角度调节平台位于主镜一侧,主镜另一侧设有激光光源,角度调节平台包括上平板、下平板和伸缩调节组件,被测物品放置于上平板的上表面,上平板的上下表面与下平板的上下表面均为平整面,上平板位于下平板的正上方,伸缩调节组件位于上平板与下平板之间。本实用新型可进行干涉仪对大角度产品的快速检测,提高批量产品检测效率;减少被测产品变形带来的检测误差,提高了检测的准确性;制造成本低,操作简单。 | ||
搜索关键词: | 一种 适用于 激光 干涉仪 对焦 固定 调整 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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