[实用新型]一种托盘

摘要

本实用新型提供一种托盘，所述晶圆托盘包括：承载盘，所述承载盘周缘形成环状的第一凸台；多个晶圆承载区，所述多个晶圆承载区是设置在所述承载盘的上表面的多个圆形凹槽，用于放置晶圆；晶圆补块，所述晶圆补块的材质与所述放置的裂片晶圆相同，所述晶圆补块设置于所述晶圆承载区内部，与裂片晶圆形状相匹配；其中，所述每个晶圆承载区的高度与所述晶圆的厚度相匹配，所述每个晶圆承载区的面积与所述晶圆的面积相匹配。本实用新型提供的晶圆托盘解决了现有技术在利用PECVD薄膜生长过程中，降低了晶片的良率，增加了生产成本，不满足现代薄膜生长技术的需求的问题。