[实用新型]一种新型集成电路生产用稳定减震工装夹具有效
| 申请号： | 201922500003.2 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211295069U | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 陈敏丽 | 申请（专利权）人： | 陈敏丽 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种新型集成电路生产用稳定减震工装夹具,包括装置主体，装置主体正面活动安装有拉杆，装置主体上的活动安装有夹具主体，装置主体内部中端固定安装有转轴，通过夹具主体为两个且左右相对设置，则当拉杆右侧设置有轮齿且与转轴外侧咬合时，能通过工作人员拉动拉杆，从而带动转轴进行转动，再通过两个移动座下端的移动杆，分别通过轮齿咬合转轴的两侧，从而利用转杆外侧的齿轮层分别带动两个移动杆向装置主体中端移动，使得达到带动移动座上端的夹具主体向装置主体中端移动的效果，以致能同时对装置主体上端的集成电路两侧进行同时固定，防止集成电路错位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 集成电路 生产 稳定 减震 工装 夹具 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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