[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201922501446.3 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211792036U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 周延青;潘华兵;郑泉智;胡铁刚 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;岳丹丹 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS麦克风。MEMS麦克风包括：衬底；位于所述衬底第一表面上的膜片和背极板电极，所述膜片与所述背极板电极彼此隔开，所述膜片的第一表面与所述背极板电极的第一表面彼此相对；位于所述背极板电极和所述膜片第一表面之间的空腔；以及贯穿所述衬底到达所述膜片的第二表面的声腔，所述膜片的侧面连接所述膜片的第一表面和第二表面，所述膜片的周边部分的至少部分区域位于所述衬底上方，所述膜片与所述衬底之间具有间隔，所述声腔与所述空腔连通。本申请将声腔与空腔连通，极大的释放了膜片的应力，提高了膜片机械响应的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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