[发明专利]阴极装置以及溅射装置有效
| 申请号： | 201980004189.2 | 申请日： | 2019-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN111263831B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 田代征仁;中野贤明 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 尹洪波 |
| 地址： | 日本国神奈川*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 阴极装置(20)具备：旋转板(26)，其固定有磁路(27)；旋转机构(21)，其接受电机(21M)的动力，使旋转板(26)绕旋转轴(25)旋转；直线运动型并行连杆机构(22～24)，其具备将旋转轴(25)支承为能够旋转的末端执行器(24)、前端与末端执行器(24)连接且从末端执行器(24)以放射状延伸的六根连杆(23)、分别接受直线运动致动器(22M)的动力而使相邻的两根连杆(23)的基端沿着一方向移动的三个直线运动机构(22)；以及控制部(30)，其对旋转轴(25)基于各直线运动致动器(22M)的协调动作的位置变更以及旋转轴(25)基于电机(21M)动作的旋转进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 装置 以及 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社爱发科，未经株式会社爱发科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980004189.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：烷氧基化仲醇硫酸酯
- 下一篇：移动通信中在辅助小区上支持波束故障恢复
- 同类专利
- 专利分类
