[发明专利]薄片试样制作装置以及薄片试样制作方法在审
| 申请号： | 201980004416.1 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111065907A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 中谷郁子 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/32 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 崔成哲;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 薄片试样制作装置(1)具备会聚离子束照射光学系统(14)、载台(12)、载台驱动机构(13)以及计算机(22)。会聚离子束照射光学系统(14)照射会聚离子束(FIB)。载台(12)保持试样片(Q)。载台驱动机构(13)驱动载台(12)。计算机(22)在试样片(Q)中设定作为加工区域的薄片化区域和包围薄片化区域的整周的周缘部。计算机(22)使得从与试样片(Q)的被照射面交叉的方向照射会聚离子束(FIB)，通过蚀刻加工将薄片化区域的厚度形成得比周缘部的厚度薄。 | ||
| 搜索关键词： | 薄片 试样 制作 装置 以及 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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