[发明专利]一种金属表面检测的方法及系统在审
| 申请号： | 201980005291.4 | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN111279182A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 王星泽;何良雨;祝毅博 | 申请（专利权）人： | 合刃科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种金属表面检测的方法及系统，其中所述方法包括：发射器(110)将频率小于该金属等离子体频率的电磁波入射到调制装置(120)与待测金属之间的狭缝，以产生金属表面等离子体波；其中，所述金属表面等离子体波与所述入射的电磁波耦合，并被共振激发为空间辐射电磁波，所述空间辐射电磁波从所述调制装置(120)的另一端射出，从而被探测器(130)接收；改变调制装置(120)和金属在水平方向上的相对位置，当表面等离子体波经过金属表面存在缺陷的地方，出射的电磁波会发生变化，从而可以检测出金属表面的缺陷及所在位置。该方法或系统能够迅速检测金属表面是否存在缺陷，而且效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属表面 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
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