[发明专利]光掩膜固持系统有效
| 申请号： | 201980005342.3 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN111602092B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 林书弘;庄家和;邱铭乾;薛新民 | 申请（专利权）人： | 家登精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/00 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 孙芬 |
| 地址： | 中国台湾新北*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光掩膜固持系统，包括内盒及外盒。所述内盒配置来接收具有第一识别特征及在所述第一识别特征附近的护膜(pellicle)的光掩膜，所述内盒包括：内基座，具有外围区域围绕的光掩膜容置区，其限定一相应地允许观察所述第一识别特征和所述护膜的一部分的第一观察区；及内盖，配置来与外围区域接合，从而限定容置所述光掩膜的内部。所述外盒配置来接收内基座，并包括：外基座，其上限定第二观察区域，其中，当所述外基座接收所述内盒时，第二观察区域可观察地与第一观察区域对准；所述外基座包括嵌入在所述第二观察区中并与所述第一观察区可观察地对准的外部光学组件，其配置来允许观察内基座的第三识别特征；及外盖，配置来与所述外基座接合并覆盖所述内盒。 | ||
| 搜索关键词： | 光掩膜固持 系统 | ||
【主权项】：
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