[发明专利]提纯气体的制造装置及提纯气体的制造方法在审
申请号: | 201980005538.2 | 申请日: | 2019-02-20 |
公开(公告)号: | CN111295237A | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 田中真子;贝川贵纪 | 申请(专利权)人: | 爱沃特株式会社 |
主分类号: | B01D53/04 | 分类号: | B01D53/04;B01D53/26;C01B21/04;C01B23/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘文海 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供提纯气体的制造装置及提纯气体的制造方法,该提纯气体的制造装置具备将原料气体中的至少水分及氧气去除以得到提纯气体的提纯塔,提纯塔包含第一区域及第二区域,第一区域是用于将原料气体中的至少水分吸附去除的区域,第二区域用于将经过第一区域的原料气体中的至少氧气去除以得到提纯气体的区域,该提纯气体的制造方法包含以下工序:将原料气体向包含第一区域及第二区域的提纯塔导入;在第一区域中将原料气体中的至少水分吸附去除;在第二区域中将在第一区域中被吸附去除水分后的原料气体中的至少氧气去除;以及将在第二区域中被去除氧气后的原料气体作为提纯气体导出。 | ||
搜索关键词: | 提纯 气体 制造 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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