[发明专利]电子设备的纳米涂层保护方法在审
| 申请号： | 201980005788.6 | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN111372692A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 宗坚 | 申请（专利权）人： | 美商菲沃泰科技公司 |
| 主分类号： | B05D3/04 | 分类号： | B05D3/04;B32B9/04;C08J7/18;C23C16/513;G02B1/12;H01J37/32;H01L51/52 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 邬玥;方挺 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 这里介绍的是等离子体聚合装置和过程。示例性实施例包括与中心轴基本对称的形状的真空室。旋转架可以可操作地以绕真空室的中心轴旋转。另外，从真空室的外周以基本对称的方式围绕真空室的周边定位的反应性物质释放机制可以配置成将反应性物质分散到真空室中。反应性物质可以在一个或多个设备的表面上形成聚合物多层涂层。每层可具有不同的原子组成，以增强聚合物多层涂层的耐水性，耐腐蚀性，和耐摩擦性。 | ||
| 搜索关键词： | 电子设备 纳米 涂层 保护 方法 | ||
【主权项】：
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