[发明专利]背面研磨带有效
| 申请号： | 201980006221.0 | 申请日： | 2019-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN111433306B | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 尹美善;金色拉;李光珠;延博拉;金相还;金殷英 | 申请（专利权）人： | 株式会社LG化学 |
| 主分类号： | C09J7/24 | 分类号： | C09J7/24;C09J7/29;H01L21/304;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵丹;冷永华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容涉及背面研磨带，包括含有氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯树脂的聚合物树脂层，所述氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯树脂包含10重量％至40重量％的源自玻璃化转变温度为0℃或更高的(甲基)丙烯酸酯单体或低聚物的重复单元，其中聚合物树脂层的玻璃化转变温度为‑30℃至0℃。本公开内容还涉及使用背面研磨带研磨晶片的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 背面 研磨 | ||
【主权项】：
暂无信息
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