[发明专利]溅镀靶材和溅镀靶有效
| 申请号： | 201980006346.3 | 申请日： | 2019-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN111465713B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 田尾幸树;畠英雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社钢臂功科研 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C01G25/00;C04B35/457;G11B7/2578;G11B7/26 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本兵库县神户市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提供一种溅镀靶材和溅镀靶。溅镀靶材包含锌(Zn)的氧化物、锡(Sn)的氧化物及锆(Zr)的氧化物，其中相对于氧(O)以外的所有元素，锌的含量A |
||
| 搜索关键词： | 溅镀靶材 溅镀靶 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社钢臂功科研，未经株式会社钢臂功科研许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980006346.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
