[发明专利]离子化方法和试样支承体有效
| 申请号： | 201980006764.2 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN111512151B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 小谷政弘;大村孝幸 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/626 | 分类号： | G01N27/626;H01J49/04;H01J49/16 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一实施方式的离子化方法包括：第1步骤，其准备具有基片和导电层(4)的试样支承体，其中，基片形成有在彼此相对的第1表面(2a)和第2表面(2b)具有开口的多个贯通孔(2c)，导电层(4)至少设置于第1表面；第2步骤，在试样支承体以第2表面位于上侧的方式被支承的状态下，对第2表面滴下含有试样(S)的溶液；第3步骤，在试样支承体以第2表面位于上侧的方式被支承的状态下，使试样的成分从第2表面侧向多个贯通孔内移动，并且使试样的成分干燥；和第4步骤，通过一边对导电层施加电压一边对第1表面照射激光(L)，来将试样的成分离子化。 | ||
| 搜索关键词： | 离子化 方法 试样 支承 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浜松光子学株式会社，未经浜松光子学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980006764.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
