[发明专利]光致抗蚀剂去除剂组合物在审
| 申请号： | 201980006779.9 | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN111527453A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 吴恒鹏;林观阳 | 申请（专利权）人： | 默克专利股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 陈晰 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及组合物，其基本由以下物质组成：具有结构(I)的烷基苯磺酸(其中n为0‑16的整数)；溶剂，其选自由具有结构(II)的溶剂(其中R选自‑(‑O‑CH |
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| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 去除 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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