[发明专利]感光性树脂层叠体及其制造方法有效
| 申请号： | 201980006875.3 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN111527450B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 加持义贵 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027;H05K3/18;H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种层叠体，其在基膜上具备感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物可以兼顾在显影液中的溶解性即显影性和对基板、特别是铜基板的密合性。一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其具备支撑薄膜、和形成在支撑薄膜上的包含感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，感光性树脂组合物含有(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和双键的化合物；(C)光聚合引发剂；及(D)铁原子，以感光性树脂组合物层为基准，感光性树脂组合物层中的铁原子的含量为0.01ppm以上且10ppm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 层叠 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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