[发明专利]控制液滴流中的液滴的聚结的装置和方法在审
| 申请号： | 201980008103.3 | 申请日： | 2019-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN111587612A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | J·M·卢肯斯;B·罗林格;P·贝亚吉 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种用于控制被用于生成EUV辐射的液滴(102a，b)的形成的装置和方法，该装置和方法包括产生指向照射区域的激光束的部件和液滴源。液滴源(92)包括离开喷嘴(98)的流体和具有电致动元件(104)的子系统，该电致动元件(104)在流体(96)中产生干扰。液滴源产生流(100)，该流(100)分解成液滴，当液滴朝着照射区域前进时，液滴进而聚结成更大的液滴。电致动元件由控制液滴生成/聚结过程的混合波形来驱动。还公开了一种确定喷嘴的传递函数的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 滴流 中的 聚结 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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