[发明专利]氟化液体再生方法及使用此类方法的再生设备有效
| 申请号： | 201980008810.2 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111601873B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 木村珠美;斋藤裕辅 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/50 | 分类号： | C11D7/50;B08B3/04;C23C14/24;C23G1/36;H01L51/50 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李博 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的一个实施方案的氟化液体再生方法包括以下步骤：使被洗涤剂污染的氟化液体与水接触，以使位于上层的水相的洗涤剂的浓度小于80质量％；以及将在所述水接触后获得的混合液体分离成两份液体：位于所述上层的水相和位于下层的氟化液体，然后去除所述上层的液体并收集所述下层的液体；其中所述洗涤剂为溶解在所述氟化液体中的非质子极性溶剂，并且所述氟化液体为氢氟醚、氢氟烯烃或它们的混合物。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化 液体 再生 方法 使用 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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