[发明专利]有机金属化合物及利用其的薄膜有效
| 申请号： | 201980010593.0 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN111655702B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 河胜元;边煐勋;金点钟;金镐勋;千成学 | 申请（专利权）人： | 艾慕化学株式会社 |
| 主分类号： | C07F9/00 | 分类号： | C07F9/00;H01L21/02;C23C16/34;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京鸿德海业知识产权代理有限公司 11412 | 代理人： | 于未茗 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的有机金属化合物及利用其的薄膜满足高挥发性、优异的化学和热稳定性，并且即使在低温下也具有显着提高的薄膜沉积速率。而且可以实现改善由于副产物引起的特性劣化，具有优异的阶梯覆盖率，具有高介电常数而在电气上具有等效氧化膜厚度(EOT)且在物理上不发生隧道效应的厚度的薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 金属 化合物 利用 薄膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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