[发明专利]投射光刻的照明光学单元有效
| 申请号： | 201980010827.1 | 申请日： | 2019-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN111656245B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | M.帕特拉 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B19/00 | 分类号： | G02B19/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种投射光刻的照明光学单元(4)。一方面场分面反射镜(19)的场分面(25)和另一方面光瞳分面反射镜(20)的光瞳分面(29)的布置使得在场分面(25)和光瞳分面(29)之上引导照明通道(16 |
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| 搜索关键词： | 投射 光刻 照明 光学 单元 | ||
【主权项】：
暂无信息
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