[发明专利]用于流体的脉冲输送的流体控制系统和输送流体脉冲的方法有效
申请号: | 201980011115.1 | 申请日: | 2019-01-28 |
公开(公告)号: | CN111670420B | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 丁军华;M·勒巴塞伊;G·希尔 | 申请(专利权)人: | 万机仪器公司 |
主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06;G01F1/34 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 师玮;王小东 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 用于流体的脉冲输送的流体控制系统和输送流体脉冲的方法。提供了一种对流体进行脉冲输送的流体控制系统,该系统包括:流道、发起和终止来自流道的流体脉冲的隔离阀以及脉冲质量流量控制器(MFC)。该MFC包括:对流道中的流体流量进行控制的控制阀、对流道中的流量进行测量的流量传感器以及控制器,该控制器对通过控制阀的流体流量和隔离阀的开关进行控制,以对流体脉冲期间输送的流体质量进行控制。可以基于在由隔离阀发起和终止的脉冲期间来自流量传感器的反馈,对通过控制阀的流体流量进行控制。 | ||
搜索关键词: | 用于 流体 脉冲 输送 控制系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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