[发明专利]过滤装置、纯化装置、药液的制造方法在审
| 申请号： | 201980011497.8 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN111683736A | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 大松祯;上村哲也;清水哲也;高桥智美 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | B01D61/14 | 分类号： | B01D61/14;B01D61/18;B01D61/58;B01D65/02;B01D69/12;B01D71/32;B01D71/82;G03F7/26;G03F7/32;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种能够制造具有优异的缺陷抑制性能的药液的过滤装置。并且，课题还在于提供一种纯化装置及药液的制造方法。一种过滤装置，其用于将被纯化液进行纯化而得到药液，所述过滤装置具有：流入部；流出部；过滤器A；与过滤器A不同的至少1个过滤器B；及串联配置有过滤器A及过滤器B的从流入部至流出部的流路，其中，过滤器A具有多氟烃制的多孔基材；及包覆层，以覆盖多孔基材的方式配置且含有具有吸附性基团的树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤 装置 纯化 药液 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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