[发明专利]耦合的MEMS谐振器在审
| 申请号： | 201980011513.3 | 申请日： | 2019-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN111727562A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | A·贾克拉 | 申请（专利权）人： | 京瓷帝基廷公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;B81B3/00;B81B7/04;H01L41/083;H03H3/007 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 马明月 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机电谐振器，该微机电谐振器包括支撑结构、悬置到支撑结构的谐振器元件、以及用于将谐振器元件激发到谐振模式的致动器。根据本发明，谐振器元件包括多个相邻子元件，每个子元件具有一长度和一宽度以及高于1的长宽比，并且每个子元件适于以长度延伸谐振模式、扭转谐振模式或弯曲谐振模式进行谐振。另外，子元件中的每个子元件通过一个或多个连接元件耦合到至少一个其他子元件，以用于将谐振器元件激发到集体谐振模式，一个或多个连接元件被耦合到子元件的上述谐振模式的非节点。 | ||
| 搜索关键词： | 耦合 mems 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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