[发明专利]产生多电子束的光电阴极发射器系统有效
| 申请号： | 201980011542.X | 申请日： | 2019-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN111684563B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | G·德尔加多;R·加西亚;K·艾奥凯密迪;Z·马克斯;G·洛佩兹;F·希尔;M·罗梅洛 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J1/304 | 分类号： | H01J1/304;H01J37/063 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 所述系统包含光电阴极电子源、衍射光学元件及用以聚焦小光束的微透镜阵列。源将辐射光束引导到所述衍射光学元件，所述衍射光学元件产生小光束阵列以与光电阴极表面结合使用以从所述小光束产生电子束阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 电子束 光电 阴极 发射器 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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