[发明专利]含第Ⅳ族金属元素化合物、其制备方法、含其的膜形成用前体组合物及用其的膜形成方法在审
| 申请号： | 201980011626.3 | 申请日： | 2019-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN111683953A | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 韩元锡;高元勇;朴明镐 | 申请（专利权）人： | UP化学株式会社 |
| 主分类号： | C07F7/00 | 分类号： | C07F7/00;C23C16/40;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 钟锦舜;赵瑞 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供新型含第Ⅳ族金属元素的化合物、所述含第Ⅳ族金属元素的化合物的制备方法、包含所述含第Ⅳ族金属元素的化合物的膜形成用前体组合物、以及利用所述含第Ⅳ族金属元素的化合物的含第Ⅳ族金属元素膜的形成方法。具有如下优点：能够通过使用本申请的实现例所涉及的新型含第Ⅳ族金属元素的化合物的原子层沉积法而与以往已知的含第Ⅳ族金属元素的化合物相比在更高的温度下形成含第Ⅳ族金属元素膜。 | ||
| 搜索关键词： | 金属元素 化合物 制备 方法 形成 用前体 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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