[发明专利]测量装置和测量方法有效
| 申请号： | 201980011651.1 | 申请日： | 2019-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN111727354B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 节田和纪;原仁;市泽康史 | 申请（专利权）人： | 横河电机株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/86;G01N21/3559;G01N33/34;G01N21/23 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 为提供一种测量装置以精确地测量具有片状形状的测量目标的物理量，本发明提供一种测量装置以测量具有片状形状的测量目标的物理量。测量装置包含：第一积分球，该第一积分球由间隙与测量目标的第一表面分开，具有面向第一表面的第一开口，并且不配备有检测用于计算物理量的光强度的光探测器；第二积分球，该第二积分球由间隙与测量目标的第二表面分开，其中第二表面定位为与第一表面相对，并且具有面向第一开口的第二开口，且测量目标夹在第一开口和第二开口之间；光源，发射光到第一积分球中；光检测单元，检测第二积分球内部的光强度；以及，计算单元，基于由光检测单元检测的光强度计算测量目标的物理量。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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