[发明专利]碳电极及石英玻璃坩埚的制造方法在审
申请号: | 201980011928.0 | 申请日: | 2019-01-17 |
公开(公告)号: | CN111683906A | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 友国和树 | 申请(专利权)人: | 信越石英株式会社 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;谢顺星 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明为一种碳电极,其用于用以制造石英玻璃坩埚的电弧放电,其中,至少在所述碳电极的长度方向的距进行所述电弧放电的前端部50mm~130mm的范围内,在所述碳电极的表面上形成有凹部图案及凸部图案中的至少任意一种。由此,提供一种在石英玻璃坩埚的制造中能够抑制硅粉在碳电极上凝聚的碳电极。 | ||
搜索关键词: | 电极 石英玻璃 坩埚 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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