[发明专利]将分离线引入透明脆性破裂材料中的方法和设备及通过该方法生产的具有分离线的元件有效
| 申请号： | 201980012585.X | 申请日： | 2019-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN111699070B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | A·奥特纳;C·库尼施;F-T·雷特斯;J·U·托马斯;K·纳特曼;M·克鲁格 | 申请（专利权）人： | 肖特股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/067;B23K26/073;B23K26/08;C03B33/02;B23K26/53;B23K26/0622;B23K103/00 |
| 代理公司： | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人： | 赵飞;张素玲 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的是制备用于分离过程的脆性破裂透明基板，并产生已制备的分离线，沿着其可以分离元件而无需高的断开力，且不会伴随在所产生的边缘上生成贝壳状裂口的风险。为此，本发明提出一种用于制备工件的方法，包括：提供工件，其对脉冲激光束的光透明；用光学系统将激光束分成至少两个分光束，并将其引导到工件上以相对照射表面的法线以不同的角度入射在工件上，两个分光束在工件的内部叠加，相互干涉从而在工件内部形成沿分光束的重叠区域依次排列的一系列强度最大值，该处的强度足够高以改变工件的材料，从而形成材料改变部的链状周期性图案；以及使工件和分光束相对于彼此移动，以产生沿限定分离线的路径的材料改变部的多个链状周期性图案。 | ||
| 搜索关键词： | 离线 引入 透明 脆性 破裂 材料 中的 方法 设备 通过 生产 具有 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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