[发明专利]用于监测流体输送的集成传感器有效

专利信息
申请号: 201980013186.5 申请日: 2019-02-12
公开(公告)号: CN111727066B 公开(公告)日: 2023-09-19
发明(设计)人: 蒂莫西·亚当·沃尔什;克里斯蒂安·桑德曼 申请(专利权)人: 康尔福盛303公司
主分类号: A61M5/168 分类号: A61M5/168;A61M5/172
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 谭营营;胡彬
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供了一种用于流体流应用的传感器。传感器包括:入口室,被配置为从第一导管接收流体流;出口室,被配置为将流体流提供给第二导管;以及隔膜,将入口室与出口室分隔开,所述隔膜包括流体通道,以允许流体流从入口室去往出口室。传感器还包括:布置在隔膜上的电路部件,电路部件具有被配置为根据隔膜的变形而改变的电学属性;以及在基底上形成并与电路部件耦合的导体,基于电路部件的电学属性的变化提供电信号。隔膜包括形成在基底上的外延层。还提出了用于制造和使用上述传感器的方法。
搜索关键词: 用于 监测 流体 输送 集成 传感器
【主权项】:
暂无信息
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