[发明专利]形成具有细化形状和微结构的铜合金溅射靶的方法在审
| 申请号： | 201980013285.3 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN111727270A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·费拉泽;弗兰克·C·奥尔福德;艾拉·G·诺兰德;埃里克·L·特纳;帕特里克·安德伍德 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B21C23/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种形成铜锰溅射靶的方法，该方法包括：使铜锰坯料经受第一单向锻造步骤；将铜锰坯料加热至约650℃至约750℃的温度；使铜锰坯料经受第二单向锻造步骤；以及将铜锰坯料加热至约500℃至约650℃的温度，以形成铜合金。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 具有 细化 形状 微结构 铜合金 溅射 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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