[发明专利]气体管理系统在审
| 申请号： | 201980013680.1 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN111727533A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | Y·罗曼·古提雷兹;W·D·吉莱斯皮;E·S·罗;D·A·卡纳瓦德 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/14 | 分类号： | H01S3/14;H01S3/223;H01S3/225;B01D53/00;H01S3/22 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑振 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种气体腔室供应系统，包括气体源，其被配置为流体连接到气体腔室并且向气体腔室供应气体混合物，该气体源包括预先制备的气体供应，该预先装备的气体源包括气体混合物，该气体混合物包括多种气体成分并且不含卤素；回收气体供应，该回收气体供应包括气体混合物；以及流体流量开关，该流体流量开关连接到预先制备的气体供应和回收气体供应。气体腔室供应还包括控制系统，该控制系统被配置为确定回收气体供应内的气体成分之间的相对浓度是否在可接受范围内；并且基于该确定向该流体流量开关提供信号，以由此选择预先制备的气体供应和回收气体供应中之一作为气体源。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 管理 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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