[发明专利]压电膜、其制造方法、压电膜层叠体、其制造方法在审
| 申请号： | 201980014068.6 | 申请日： | 2019-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN111742421A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 勅使河原明彦;加纳一彦;酒井贤一 | 申请（专利权）人： | 株式会社电装 |
| 主分类号： | H01L41/187 | 分类号： | H01L41/187;C23C14/06;C30B29/38;H01L41/319;H03H3/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电膜(1)，其含有AlN晶体和添加至AlN晶体中的第1元素及第2元素。第1元素为离子半径大于Al的元素。第2元素为离子半径小于Al的元素。另外，一种压电膜层叠体及其制造方法，所述压电膜层叠体可具有基底层和由ScAlN形成的压电膜。基底层具有6次对称或3次对称的结晶晶格。另外，一种压电膜及其制造方法，所述压电膜由具有六方晶与立方晶的层叠型的晶体结构的ScAlN形成。在立方晶中添加了3价以外的元素。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 制造 方法 层叠 | ||
【主权项】：
暂无信息
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