[发明专利]通过升华制备具有精确浓度的蒸气的方法和设备有效
| 申请号： | 201980014314.8 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN111770900B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 埃格伯特·G·沃尔克 | 申请（专利权）人： | 西维技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C03B27/008 | 分类号： | C03B27/008;C23C16/00;C23C16/448;G01N7/00 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 李慧慧;郑霞 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了用于控制固体前体蒸气源的技术。示例性的方法公开内容包括向升华容器中的前体材料提供载气，使得升华容器包括入口区域和出口区域以及至少一个热装置，所述入口区域和出口区域被配置成使得载气能够流过前体材料，所述至少一个热装置被配置成向升华容器添加热或从升华容器中移除热；基于前体材料和载气确定升华温度值和Δ温度值；基于升华温度值和Δ温度值设定升华容器中的第一温度，使得第一温度在靠近入口区域处被测量；以及基于升华温度值设定升华容器中的第二温度，使得第二温度在靠近出口区域处被测量。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 升华 制备 具有 精确 浓度 蒸气 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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