[发明专利]溅射靶的包装物的制作方法及运输方法有效
| 申请号： | 201980014345.3 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN112020571B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 荻野真一 | 申请（专利权）人： | JX金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B65B31/04 |
| 代理公司： | 北京伟思知识产权代理事务所(普通合伙) 11725 | 代理人： | 聂宁乐;胡瑾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种即使在含有硼的氧化物的溅射靶这类的表面容易因水分产生变质的溅射靶中，也能够有效地抑制表面变质的包装物的制作方法。溅射靶的包装物的制作方法包括：步骤1，将溅射靶收纳在由水蒸气穿透度为1g/(m |
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| 搜索关键词： | 溅射 包装 制作方法 运输 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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