[发明专利]光学测量装置的标尺元件在审
| 申请号： | 201980014437.1 | 申请日： | 2019-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN111868481A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 赖纳·格洛斯 | 申请（专利权）人： | 物理仪器（PI）两合有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26;G01D5/347 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 刘英 |
| 地址： | 德国卡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于光学测量装置的标尺元件，所述光学测量装置包括增量式编码器和干涉型传感器系统，所述标尺元件在所述标尺元件的一个表面上具有反射层，所述反射层设置成与干涉型传感器系统配合，并且所述标尺元件还具有实物量具，所述实物量具在指向远离反射层的方向上并与反射层相距一距离布置，并且被设置为与增量式传感器系统配合，所述反射层被设计为使得反射层对于某些波长的光是透射的，而对于其他波长的光是反射的。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 测量 装置 标尺 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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