[发明专利]石英玻璃坩埚有效
| 申请号： | 201980014589.1 | 申请日： | 2019-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN111936677B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 岸弘史;长谷部幸太;安部贵裕;藤原秀树 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C03B20/00;C30B15/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 杨戬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种即便在晶体提拉工序中的高温下耐久性也较高，并且能够降低单晶硅中的针孔的产生率的石英玻璃坩埚。本发明的石英玻璃坩埚(1)具备：石英玻璃坩埚主体(10)，具有圆筒状的侧壁部(10a)、弯曲的底部(10b)及具有比底部(10b)高的曲率且将侧壁部(10a)与底部(10b)连接的角部(10c)；及内表面涂膜(13A)，包含结晶化促进剂，并且形成于石英玻璃坩埚主体(10)的内表面(10i)，石英玻璃坩埚主体(10)的内表面(10i)处于压缩应力下。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 坩埚 | ||
【主权项】：
暂无信息
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