[发明专利]清洁设备和清洁方法在审
| 申请号： | 201980014844.2 | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN111742267A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | M·A·范德克尔克霍夫 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/82 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种二氧化碳雪清洁设备，包括：二氧化碳源；二氧化碳雪喷嘴，其与二氧化碳源成流体连通；充电元件；以及收集表面。还描述了一种清洁表面的方法，该方法包括以下步骤：(i)将二氧化碳流传送流出二氧化碳雪喷嘴以形成二氧化碳雪流；(ii)为二氧化碳雪流充电；(iii)将带电的二氧化碳雪流引导到待清洁的表面上；(iv)在收集表面上收集由带电的二氧化碳雪流从待清洁的表面移除的颗粒。还描述了这种设备在光刻设备中的用法以及这种设备或方法的用法。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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