[发明专利]Cu-Ni合金溅射靶有效
| 申请号： | 201980015784.6 | 申请日： | 2019-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN111788332B | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 井尾谦介;加藤慎司 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/04;C22C1/05;C22C9/06;C22C19/03;B22F1/00;B22F9/08 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 刁兴利;康泉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种Cu‑Ni合金溅射靶，其包含Ni，且剩余部分由Cu和不可避免的杂质组成，所述Cu‑Ni合金溅射靶的特征在于，在由Cu和Ni的固溶体组成的母相的晶界中存在Ni氧化物相，这些Ni氧化物相的面积率被设在0.1％以上且5.0％以下的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | cu ni 合金 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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