[发明专利]用于校准温度传感器的装置和方法有效
| 申请号： | 201980016111.2 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN112105899B | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 希尔科·瑟伊;法兰斯·德扬;阿加塔·萨基察;内博伊沙·内纳多维茨;海尔特·卡拉茨;汉斯·登卡特;雷妮·德科克;安德烈斯·瓦尔特 | 申请（专利权）人： | 希奥检测有限公司 |
| 主分类号： | G01K15/00 | 分类号： | G01K15/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 谢攀;刘继富 |
| 地址： | 荷兰埃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种校准装置(1)，其具有可密封且热隔离的腔室(10)，该腔室包括插口底座(15)，其具有与插口底座(15)热接触的多个参考样本(18)和用于被测器件DUT(17)的多个样本插口(16)，其中，每个样本插口(16)被布置为邻近并且关联于至少一个参考样本(18)。装置(1)还包括热卡盘(13)和电路板(14)，该电路板被配置成提供到插口底座(15)中的参考样本(18)和样本插口(16)中的DUT(17)的电连接。热卡盘(13)被配置成将插口底座(15)和电路板(14)热化至温度设定点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 校准 温度传感器 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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