[发明专利]偏心测定装置及方法有效
| 申请号： | 201980016916.7 | 申请日： | 2019-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN111801544B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 中林耕基 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B9/0209;G01M11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够准确地测定透镜的实际的曲率中心位置相对于被测定光学面的设计上的曲率中心位置的偏心量的偏心测定装置及方法。将具有低相干性的测定光经由扫描镜(44)及物镜(46)入射到组合透镜(10)。物镜(46)将测定光汇聚到组合透镜(10)的被测定光学面的设计上的曲率中心位置所在的扫描面上，扫描镜(44)使测定光的汇聚位置在扫描面上移动。光路长度调整部(35)根据被测定光学面的位置调整具有低相干性的参考光的光路长度。平衡检波器(37)从在组合透镜(10)的光学面反射的测定光和参考光的合波光检测在被测定光学面反射的测定光和参考光的干涉光。根据平衡检波器(37)的检测输出和扫描镜(44)的扫描信息测定被测定光学面的偏心量。 | ||
| 搜索关键词： | 偏心 测定 装置 方法 | ||
【主权项】：
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