[发明专利]用于确认仪器中带电粒子产生的方法及相关的仪器在审
申请号: | 201980017046.5 | 申请日: | 2019-02-11 |
公开(公告)号: | CN111801574A | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
发明(设计)人: | 詹姆斯·亚瑟·凡高登 | 申请(专利权)人: | 生物梅里埃有限公司 |
主分类号: | G01N30/72 | 分类号: | G01N30/72;H01J49/26;H01J49/40 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 美国北卡罗*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供多种用于确认一仪器中带电粒子产生的方法。一种确认一仪器中带电粒子产生的方法包括:当所述带电粒子光学系统位于一腔室时,为所述仪器的一带电粒子光学系统提供电连接。所述方法包括:将一电子部件耦合到在所述腔室内产生的带电粒子电流,所述电子部件包括一阻抗。此外,所述方法包括:通过所述电子部件测量对所述带电粒子电流的一电响应。本发明还提供多种相关的仪器。 | ||
搜索关键词: | 用于 确认 仪器 带电 粒子 产生 方法 相关 | ||
【主权项】:
暂无信息
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