[发明专利]在抗蚀剂应用中作为光酸产生剂的环状磺酸盐化合物有效
| 申请号： | 201980018154.4 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN111819495B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 张永强;R·B·夏尔马 | 申请（专利权）人： | 贺利氏电子化工有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004;C07C309/19;C07C309/09;G03F7/038;G03F7/20;G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘媛媛 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了新型光酸产生剂化合物。还提供了包含新型光酸产生剂化合物的组合物。本公开进一步提供了制备和使用本文公开的光酸产生剂化合物和组合物的方法。所述化合物和组合物可用作化学放大抗蚀剂组合物中的光活性组分，用于各种微制造应用。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 应用 作为 产生 环状 盐化 | ||
【主权项】：
暂无信息
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