[发明专利]用于表面声波器件的混合结构及相关的制造方法在审
申请号: | 201980018383.6 | 申请日: | 2019-03-13 |
公开(公告)号: | CN111837247A | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 佛雷德里克·阿利伯特;克里斯泰勒·维蒂佐 | 申请(专利权)人: | 索泰克公司 |
主分类号: | H01L41/43 | 分类号: | H01L41/43;H01L41/08;H01L41/319;H03H3/007;H03H9/72 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 王万影;王小东 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于表面声波器件的混合结构(10),所述混合结构(10)包括:压电材料的有用层(1),该有用层(1)被连结至具有比有用层(1)低的热膨胀系数的支撑基板(2);以及中间层(3),该中间层(3)被布置在有用层(1)与支撑基板(2)之间。中间层是由至少第一材料和第二材料的粉末形成的烧结复合层(3),该第二材料与该第一材料不同。 | ||
搜索关键词: | 用于 表面 声波 器件 混合结构 相关 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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