[发明专利]固化膜的制造方法以及有机EL显示器的制造方法在审
| 申请号： | 201980019019.1 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN111886544A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 谷垣勇刚;日比野千香;三好一登 | 申请（专利权）人： | 东丽株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/037 | 分类号： | G03F7/037;G03F7/075;G03F7/20;H01L51/50;H05B33/10;H05B33/12;H05B33/22 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 焦成美 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供固化膜的制造方法，其能够使用负型感光性树脂组合物来形成具有阶差形状的图案，所述固化膜具备具有即使在热固化后在厚膜部与薄膜部也存在足够的膜厚差的阶差形状的图案。另外，本发明提供显示装置的制造方法，其能够制造具备具有前述阶差形状的图案的有机EL显示器。固化膜的制造方法，其依次具有下述工序：(1)在基板上形成负型感光性树脂组合物的具有阶差形状的图案的工序，(2)使所述具有阶差形状的图案进行光固化的工序，以及(3)对所述具有阶差形状的图案进行加热而使其热固化的工序，其中，所述(1)形成图案的工序具有隔着光掩模照射活性化学射线的工序，该光掩模是具有特定图案以及透光部、遮光部和半透光部的半色调光掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 固化 制造 方法 以及 有机 el 显示器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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