[发明专利]用于包含射频传感器和相应锁相放大器的衬底处理装置的RF计量系统在审
| 申请号： | 201980019446.X | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN111868876A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 欧内斯特·贝奥尔·汉克斯;约翰·小瓦尔科 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;邱晓敏 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种RF控制电路，并且其包括控制器、分配器和RF传感器。控制器选择RF，它是参考LO信号的频率。分配器接收在衬底处理室中检测到的第一RF信号，并输出第二RF信号。第一RF信号由RF产生器产生并提供给衬底处理室。该RF传感器包括锁相放大器，该锁相放大器包括：接收第二RF信号的RF路径；接收参考LO信号的LO路径；第一混频器，其基于第二RF信号和参考LO信号产生IF信号；以及过滤IF信号的滤波器。控制器基于滤波后的IF信号产生控制信号，并将控制信号发送至RF产生器以调节第一RF信号。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 包含 射频 传感器 相应 放大器 衬底 处理 装置 rf 计量 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980019446.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
